UWBG

Partner Call offen bis: 06.08.2026

Projektstart: Mitte August 2026

Ziel ist es, die Leistungsfähigkeit neuartiger Materialien mit extrem großer Bandlücke in Leistungsbauelementen zu untersuchen, durch:

• Simulation der elektrischen Feldverteilung in Leistungsbauelementen
• Prozessentwicklung für metallische und dielektrische Schichten, einschließlich Abscheidung (Verdampfung, Sputtern, Atomlagenabscheidung) und Ätzen
• Untersuchung des Einflusses von Oberflächenbehandlungen
• Herstellung von Dioden- und Transistor-Demonstrationsbauelementen
• Prüfung der Demonstrationsbauelemente

• Optimiertes Bauelementdesign auf der Grundlage von Simulationen
• Prozessoptimierungen für Einzelprozess und Gesamtdurchlauf in Bezug auf Abscheidung, Ätzen und Lithografie
• Zwei Generationen von Demonstrationsbauelementen
• Vergleich von Bauelementen auf Basis eines neuartigen Materials mit extrem großer Bandlücke mit Bauelementen auf Basis herkömmlicher Materialien mit großer Bandlücke