A PILOT LINE FOR ADVANCED MAGNETIC THIN FILM-BASED TECHNOLOGIES

Projektziele

• Anschaffung von Spezialwerkzeugen für die Abscheidung magnetischer Dünnschichten und die Charakterisierung magnetischer Bauelemente auf Substraten mit einer Größe von bis zu 200 mm und 300 mm
• Unterstützung und Beschleunigung des Übergangs des österreichischen und europäischen Spintronik- und MEMS-Ökosystems zu höheren TRLs
• Schaffung einer in Österreich einzigartigen Infrastruktur und einer der wenigen Einrichtungen in Europa, die in der Lage ist, hochwertige magnetische Dünnschichten auf industriell relevanten Wafer-Substraten herzustellen und zu charakterisieren