Das NLD-5700 nutzt die Neutral Loop Discharge (NLD)-Plasmatechnologie von ULVAC und ermöglicht hochstabile und präzise Trockenätzprozesse, die speziell auf anspruchsvolle photonische Anwendungen zugeschnitten sind.
Das System bietet mehrere wesentliche technologische Vorteile:
- Plasma mit hoher Dichte und niedriger Elektronentemperatur für stabile und kontrollierte Prozesse bei feinsten Strukturgrößen
- Hervorragende Homogenität über den gesamten 8-Zoll-Wafer, die durch Anpassung des Neutral-Loop-Radius optimiert werden kann
- Hohe Ätzraten, insbesondere bei niedrigen Prozessdrücken (0,1–1 Pa)
- Fähigkeit zur Herstellung von Strukturen mit hohem Aspektverhältnis, einschließlich nahezu senkrechter Seitenwände
Erweiterte Prozesskompetenzen für die Industrie
Mit der Installation des NLD-5700 erweitert SAL sein Portfolio im Bereich der Plasmaätzprozesse für TFLN (Thin-Film Lithium Niobate) erheblich und bietet Industriepartnern Zugang zu einer Technologieplattform, die derzeit in Europa einzigartig ist.
Das System ist insbesondere für Unternehmen attraktiv, die integrierte photonische Komponenten der nächsten Generation, HF-Strukturen (RF) sowie fortschrittliche Sensortechnologien entwickeln, bei denen Präzision, Reproduzierbarkeit und eine exakte Kontrolle vertikaler Profilstrukturen entscheidend sind. Industriepartner können Machbarkeitsstudien durchführen, Prozesse optimieren und komplexe Bauelementarchitekturen unter den hochmodernen Reinraumbedingungen von SAL validieren.
„Mit dem ersten NLD-5700-System in Europa erweitern wir unsere Plasmaätzkapazitäten für die nächste Generation photonischer und quantentechnologischer Anwendungen erheblich“, erklärt Mohssen Moridi, Senior Director bei SAL. „Das System bietet unseren Industriepartnern eine leistungsstarke Plattform für die Entwicklung von Bauelementen der nächsten Generation.“
„Die erfolgreiche Inbetriebnahme des NLD-5700 in Europa ist ein Meilenstein, auf den wir besonders stolz sind“, sagt Harunori Iwai, Executive Officer, Special Assignment, Semiconductor & Electronics Domain bei ULVAC. „ULVAC wird die Partnerschaft mit SAL weiter vertiefen und gemeinsam das Wachstum von Photonik- und MEMS-Technologien auf dem europäischen Markt vorantreiben. Durch kontinuierliche Innovation möchten wir zur nachhaltigen Entwicklung der europäischen Hightech-Industrie beitragen.“
Mit der vollständigen Inbetriebnahme des NLD-5700 stärkt SAL seine Rolle als europäisches Kompetenzzentrum für fortschrittliche MEMS- und optische Prozessierung weiter und schlägt die Brücke zwischen modernster Plasmatechnologie und den konkreten Anforderungen industrieller Anwendungen.
Kontakt
Lisa Kainz, MA
Business Development Microsystems
